无尘车间的安全要求

　　一、无尘室须知

　　1 进入无尘室前，必须知会管理人，并通过基本训练。

　　2 进入无尘室严禁吸烟，吃(饮)食，外来杂物(如报章，杂志，铅笔等)不可携入，并严禁嘻闹奔跑及团聚谈天。

　　3 进入无尘室前，需在规定之处所脱鞋，将鞋置于鞋柜内，外衣置于衣柜内，私人物品置于私人柜内，柜内不可放置食物。

　　4进入无尘室须先在更衣室，将口罩，无尘帽，无尘衣以及鞋套按规定依程序穿戴整齐，再经空气洗尘室洗尘，并踩踏除尘地毯(洗尘室地板上)方得进入。

　　5 戴口罩时，应将口罩戴在鼻子之上，以将口鼻孔盖住为原则，以免呼吸时污染芯片。

　　6 穿著无尘衣，无尘帽前应先整理服装以及头发，以免着上无尘衣后，不得整理又感不适。

　　7 整肃仪容后，先戴无尘帽，无尘帽的穿戴原则系:

　　(1)头发必须完全覆盖在帽内，不得外露。

　　(2)无尘帽之下摆要平散于两肩之上，穿上工作衣后，方不致下摆脱出，裸露肩颈部。

　　8无尘帽戴妥后，再着无尘衣，无尘衣应尺吋合宜，才不致有裤管或衣袖太短而裸露皮肤之虞，穿衣时应注意帽之下摆应保平整之状态，无尘衣不可反穿。

　　9 穿著无尘衣后，才着鞋套，拉上鞋套并将鞋套整平，确实盖在裤管之上。

　　10 戴手套时应避免以光手碰触手套之手掌及指尖处(防止钠离子污染)，戴上手套后，应将手套之手腕置于衣袖内，以隔绝污染源。

　　11 无尘衣着妥后，经洗尘，并踩踏除尘毯，方得进入无尘室。

　　12 不论进入或离开无尘室，须按规定在更衣室脱无尘衣，不可在其它区域为之，尤不可在无尘室内边走边脱。

　　13 无尘衣，鞋套等，应定期清洗，有破损，脱线时，应即换新。

　　14 脱下无尘衣时，其顺序与穿著时相反。

　　15 脱下之无尘衣应吊好，并放于更衣室内上层柜子中;鞋套应放置于吊好的无尘衣下方。

　　16 更衣室内小柜中，除了放置无尘衣等规定物品外，不得放置其它物品。

　　17 除规定纸张及物品外，其它物品一概不得携入无尘室。

　　18 无尘衣等不得携出无尘室，用毕放置于规定处所。

　　19 口罩与手套可视状况自行保管或重复使用。

　　20 任何东西进入无尘室，必须用洒精擦拭干净。

　　21 任何设备的进入，请知会管理人，在无尘室外擦拭干净，方可进入。

　　22 未通过考核之仪器，禁止使用，若遇紧急情况，得依紧急处理步骤作适当处理，例如关闭水、电、气体等开关。

　　23 无尘室内绝对不可动火，以免发生意外。

　　二、无尘室操作须知

　　1 处理芯片时，必须戴上无纤维手套，使用清洗过的干净镊子挟持芯片，请勿以手指或其它任何东西接触芯片，遭碰触污染过的芯片须经清洗，方得继续使用：

　　(1) 任何一支镊子前端(即挟持芯片端)如被碰触过，或是镊子掉落地上，必须拿去清洗请勿用纸巾或布擦拭脏镊子。

　　(2) 芯片清洗后进行下一程序前，若被手指碰触过，必须重新清洗。

　　(3)把芯片放置于石英舟上，准备进炉管时，若发现所用镊子有污损现象或芯片上有显眼由镊子所引起的污染，必须将芯片重新清洗，并立即更换干净的镊子使用。

　　2 芯片必须放置盒中，盖起来存放于规定位置，尽可能不让它暴露。

　　3避免在芯片上谈话，以防止唾液溅于芯片上，在芯片进扩散炉前，请特别注意，防止上述动作产生，若芯片上沾有纤维屑时，用氮气枪喷之。

　　4 从铁弗龙(Teflon)晶舟，石英舟(QuartzBoat)等载具(Carrier)上，取出芯片时，必须垂直向上挟起，避免刮伤芯片，显微镜镜头确已离芯片，方可从吸座上移走芯片。

　　5 芯片上，若已长上氧化层，在送黄光室前切勿用钻石刀在芯片上刻记。

　　6 操作时，不论是否戴上手套，手绝不能放进清洗水槽。

　　7 使用化学站或烤箱处理芯片时，务必将芯片置放于铁弗龙晶舟内，不可使用塑料盒。

　　8 摆置芯片于石英舟时，若芯片掉落地上或手中则必须重新清洗芯片，然后再进氧化炉。

　　9 请勿触摸芯片盒内部，如被碰触或有碎芯片污染，必须重作清洗。

　　10 手套，废纸及其它杂碎东西，请勿留置于操作台，手套若烧焦、磨破或纤维质变多必须换新。

　　11 非经指示，绝不可开启不熟悉的仪器及各种开关阀控制钮或把手。

　　12 奇怪的味道或反应异常的溶液，颜色，声响等请即通知相关人员。

　　13 仪器因操作错误而有任何损坏时，务必立刻告知负责人员或老师。

　　14 芯片盒进出无尘室须保持干净，并以保鲜膜封装，违者不得进入。

　　15 无尘室内一律使用原子笔及无尘笔记本做记录，一般纸张与铅笔不得携入。

　　三、黄光区操作须知

　　1 湿度及温度会影响对准工作，在黄光区应注意温度及湿度，并应减少对准机附近的人，以减少湿、温度的变化。

　　2 上妥光阻尚未曝光完成之芯片，不得携出黄光区以免感光。

　　3 己上妥光阻，而在等待对准曝光之芯片，应放置于不透明之蓝黑色晶盒之内， 盒盖必须盖妥。

　　4 光罩使用时应持取边缘，不得触及光罩面，任何状况之下，光罩铬膜不得与他物接触，以防刮伤，光罩之落尘可以氮气枪吹之。

　　5 曝光时，应避免用眼睛直视曝光机汞灯。

　　四、镊子使用须知

　　1 进入实验室后，应先戴上手套后，再取镊子，以免沾污。

　　2 唯有使用干净的镊子，才可持取芯片，镊子一旦掉在地上或被手触碰，或因其它原因而遭污染，必须拿去清洗，方可再使用。

　　3 镊子使用后，应放于各站规定处，不可任意放置，如有特殊制程用镊子，使用后应自行保管，不可和实验室内各站之镊子混合使用。

　　4 持镊子应采"握笔式"姿势挟取芯片。

　　5 挟取芯片时，顺序应由后向前挟取，放回芯片时，则由前向后放回，以免刮伤芯片表面。

　　6 挟取芯片时，"短边" (锯状头)置于芯片正面，"长边" (平头)置于芯片背面，挟芯片空白部分，不可伤及芯片。

　　7 严禁将镊子接触酸槽或DI Water水槽中。

　　8 镊子仅可做为挟取芯片用，不准做其它用途。

　　五、化学药品使用须知

　　1 化学药品的进出须登记，并知会管理人，并附上物质安全资料表（MSDS）于实验室门口。

　　2 使用化学药品前，请详读物质安全资料表(MSDS)，并告知管理人。

　　3 换酸前必先穿著防酸塑料裙，戴上防酸长袖手套，头戴护镜，脚着塑料防酸鞋，始可进行换酸工作。

　　4 不得任意打开酸瓶的盖子，使用后立即锁紧盖子。

　　5 稀释酸液时，千万记得加酸于水，绝不可加水于酸。

　　6 勿尝任何化学药品或以嗅觉来确定容器内之药品。

　　7 不明容器内为何种药品时，切勿摇动或倒置该容器。

　　8 所有化学药品之作业均须在通风良好或排气之处为之。

　　9 操作各项酸液时须详读各操作规范。

　　10 酸类可与碱类共同存于有抽风设备的储柜，但绝不可与有机溶剂存放在一起。

　　11 废酸请放入废酸桶，不可任意倾倒，更不可与有机溶液混合。

　　12 废弃有机溶液置放入有机废液桶内，不可任意倾倒或倒入废酸桶内。

　　13 勿任意更换容器内溶液。

　　14欲自行携入之溶液请事先告知经许可后方可携入，如果欲自行携入之溶液具有危险性时，必须经评估后方可携入，并请于容器上清楚标明容器内容物及保存期限。

　　15 废液处理：废液分酸、碱、氢氟酸、有机、等，分开处理并登记，回收桶标示清楚，废液桶内含氢氟酸等酸碱，绝对不可用手触碰。

　　16漏水或漏酸处理：漏水或漏酸时，为确保安全，绝对不可用手触碰，先将电源总开关与相关阀门关闭，再以无尘布或酸碱吸附器处理之，并报备管理人。

　　六、化学工作站操作

　　1 操作时须依规定，戴上橡皮手套及口罩。

　　2 不可将塑料盒放入酸槽或清洗槽中。

　　3 添加任何溶液前，务必事先确认容器内溶剂方可添加。

　　4 在化学工作站工作时应养成良好工作姿势，上身应避免前倾至化学槽及清洗槽之上方，一方面可防止危险发生，另一方面亦减少污染机会。

　　5 化学站不操作时，有盖者应随时将盖盖妥，清洗水槽之水开关关上。

　　6 化学药品溅到衣服、皮肤、脸部、眼睛时，应即用水冲洗溅伤部位15分钟以 上，且必须皮肤颜色恢复正常为止，并立刻安排急救处理。

　　7 化学品外泄时应迅速反应，并做适当处理，若有需要撤离时应依指示撤离。

　　8 各化学工作站上使用之橡皮手套，避免触碰各机台及工作台，及其它器具等物，一般操作请戴无尘手套。

　　七、RCA Method

　　1 DIWater 5min

　　2 H2SO4:H2O2=3:1 煮10~20min 75~85℃，去金属、有机、油

　　3 DIWater 5min

　　4 HF:H2O 10~30sec，去自然氧化层(Native Oxide)

　　5 DIWater 5min

　　6 NH4OH:H2O2;H2O=1:1:5 煮10~20min 75~85℃，去金属有机

　　7 DIWater 5min

　　8 HCl:H2O2:H2O=1:1:6 煮10~20min 75~85 ℃ 去离子

　　9 DIWater 5min

　　10 Spin Dry

　　八、清洗注意事项

　　1 有水则先倒水，H2O2最后倒，数字比为体积比。

　　2 有机与酸碱绝对不可混合，操作平台也务必分开使用。

　　3 酸碱溶液等冷却后倒入回收槽，并以DI Water冲玻璃杯5 min。

　　4 酸碱空瓶以水清洗后，并依塑料瓶，玻璃瓶分开置于室外回收筒。

　　5 氢氟酸会腐蚀骨头，若碰到立即用葡萄酸钙加水涂抹，再用清水冲洗干净，并就医。碰到其它酸碱则立即以DI Water大量冲洗。

　　6 清洗后之Wafer尽量放在DI Water中避免污染。

　　7 简易清洗步骤为1-2-9-10；清洗SiO2步骤为1-2-10；清洗Al以HCl:H2O=1:1。

　　8 去除正光阻步骤为1-2-10，或浸入ACE中以超音波振荡。

　　9 每个玻璃杯或槽都有特定要装的溶液，蚀刻、清洗、电镀、有机绝不能混合。

　　10 废液回收分酸、碱、氢氟酸、电镀、有机五种，分开回收并记录，倾倒前先检查废弃物兼容性表，确定无误再倾倒。

　　无尘室系统

　　使用操作方法

　　1 首先打开控制器面板上的电热运转、加压风车运转、浴尘室运转、排气风车运转等开关。

　　注意:

　　＊ 温度控制器及湿度控制器可由**钮调整，一般温度控制为20℃ DB ，湿度控制为50% RH。

　　＊左侧的控制器面板上电压切换开关为RU，电流切换开关为T。右侧的控制器面板上电压切换开关为RS，电流切换开关为OFF。

　　2 将箱型空气调节机的送风关关打开，等送风稳定后再将冷气暖气开关打开，此时红色灯会亮起，表示正常运作。

　　注意:

　　＊ 冷气的起动顺序为压缩机NO2。

　　＊ 温度调节为指针指向红色暖气5。

　　＊ 分流开关AIR VALVE 为ON。

　　3 无尘室使用完毕后，要先将箱型空气调节机关闭，按停止键即可。

　　4 再将控制器面板上的电热运转、加压风车运转、浴尘室运转、排气风车运转等开关依序关闭。

　　气体钢瓶

　　使用操作方法

　　1 用把手逆时针打开气体钢瓶到底，将OUTLET打开PURGE关闭。

　　2 由黑色转钮调整气体钢瓶的压力(psi)，顺时针方向为增加，逆时针方向为减少。

　　3 将N2钢瓶调整为40psi（黄光室内为20psi）,AIR钢瓶调整为80psi（黄光室内为60psi）。

　　4 气体钢瓶使用完毕后，用把手顺时针关闭气体钢瓶到底，将OUTLET关闭PURGE打开将管路内的气体排出后将PURGE关闭。

　　纯水系统

　　使用操作方法

　　1 阀门控制

　　(1) 阀门(VALVE)V1、V2、V3、V4、V6、V8、V10、V12、V13、V14、V16、V17、V19应保持全开。

　　(2) 阀门V5、V7、V11、V18、V21应保持全关。

　　(3) 阀门V9、V20为调压作用，不可全开或全关。

　　(4) 阀门中V5为砂滤机之BY-PASS，V15为UV灯之BY-PASS，V18为DI桶之BY-PASS，V21为RO膜之BY-PASS。

　　2 自动造水

　　步骤1：如上阀门控制将各球阀门开关定位。

　　步骤2：控制箱上，各切换开关保持在OFF位置。

　　步骤3：将控制箱上系统运转开关切换至ON位置。

　　步骤4：电磁阀1 激活先做初期排放。

　　步骤5：电磁阀2 激活造水。

　　步骤6：此时，PUMP1、PUMP2依序激活，系统正常造水，RO产水经管路进入储水桶(TANK)，当水满后控制箱上高液位指示灯亮，系统自动停机，并于储水桶水位下降至低液位时再激活造水。

　　3 系统用水

　　将控制箱上之夜间循环-停-用水切换开关切换至用水，此时PUMP3输送泵浦激活，TANK内之纯水经帮浦输送至UV、DI桶及精密过滤后，供现场各使用点使用。

　　4 夜间循环

　　控制箱上之夜间循环-停-用水切换开关，主要在配合每日下班或连续假日停止供水后管路之卫生考虑，其步骤为:

　　(1) 停止供水59分钟后，系统再自动供水1分钟。

　　(2) 此后每隔59分钟供水循环1分钟至夜间循环停为止。

　　5 系统侦测

　　本系统中附有各项压力表、流量计及导电度计，作为系统运转之控制，其功能如下:

　　压力表1：砂滤机进水压力

　　压力表2：RO进水压力

　　压力表3：RO排水压力

　　压力表4：DI进水压力

　　压力表5：供水回流压

　　流量计1：RO排水流量

　　流量计2：RO产水流量

　　另外，控制箱(机房)附有二段式LED导电度显示屏，原水及产水分别切换显示。

　　6 系统维护

　　HF-RD系统，应定期更新之耗材:

　　(1) 砂滤机应定期逆时。

　　(2)预滤应每1-2个月更新。

　　(3)膜管应视其去除率及产水量做必要之清洗或更新。

　　(4)树脂混床视比电阻值更新。

　　(5)精密过滤约每2-4个月更新。

　　7 故障排除

　　现 象 可能因素 排除方法

　　系统停机、系统无法激活 1 外电源异常2 系统运转开关未按下3 系统电路故障4 马达/泵浦故障 1 检查系统电源电路2 按下系统运转开关3 通知厂商4 更新马达/泵浦

　　低产水量 1 膜管排水量太高2 压力不足3 膜管阻塞 1 调整排水阀V92 清洗膜管或更新膜管

　　低比电阻 1 树脂功能下降2 RO去除率下降 1 更换树脂2 更换RO膜组

　　光罩对准机

　　使用操作方法

　　曝光机简介

　　在半导体制程中，涂布光阻后的芯片，须经UV紫外光照射曝光显影，此台曝光机为OAI200系列，整合光罩对准、UV紫外光曝光显影、UV紫外光测量装置及光罩夹持装置。

　　OAI200系列为一入门型光罩对准仪，可以手动操作更改各项使用参数，如曝光时间、曝光强度及曝光功率等等。对于中高阶的线宽有很好的显影效果，此系列最大可使用四吋的芯片，最大的曝光功率为1KW。

　　曝光机使用步骤

　　1 检查氮气钢瓶〈AIR 60psi〉〈N220psi〉以及黄光室的氮气阀、空气阀是否有开启。开启曝光机下方延长线的红色总开关，再开启曝光机、显微镜。

　　2 接上隧道式抽风马达电源，进行曝光机抽风步骤，并检查曝光机上方汞灯座后面进风口是否有进气。如果风量微小或者无进气，则无法开启汞灯的电源〈会有警报声〉。确定进风口有进气后，才可开启曝光机下方的汞灯电源供应器ON/OFF开关。

　　3 按住汞灯电源供应器之START键，约1~3秒钟，此时电流值会上升〈代表汞灯点亮，开始消耗电流〉，马上放掉按键，汞灯即被点亮。

　　4 汞灯点亮后，至少须待机30分钟，使Lightsource系统稳定。假使汞灯无法点亮，请不要作任何修护动作。

　　5 待系统稳定后，把电源供应器上的电压、电流值填到纪录表上，每一次开灯使用都要登记作为纪录。

　　6 旋开光罩夹具之螺丝，光罩之正面〈镀铬面〉朝下，对准三个基准点，压下MASKVAC键，使真空吸住光罩，再锁好螺丝以固定光罩。

　　注意：

　　＊ MASK Holder 必须放下时才能放置光罩。扳动MASK FRAME UP/DOWN可使MASKHolder升起或放下。

　　＊ 先用氮气吹光罩和MASK Holder，光罩正面朝下，对准黑边铁框，手勿接触光罩，压下MASKVAC键，使真空吸住光罩，锁上旁边两个黑铁边。

　　＊ 检查放置芯片的圆形基座CHUNK是否有比光罩低些，防止光罩压破芯片。

　　7 扳起MASK FRAME UP/DOWN键，使MASKHolder上升，放置芯片到CHUNK上，将SUB VAC键扳至ON，使真空吸住芯片，扳下MASK FRAMEUP/DOWN键，使MASK Holder放下。

　　8 扳动台边钮(Ball LockButton)为Unlock，顺时针方向慢慢旋转旋转钮(Z knob)，使芯片基座上升，直到传动皮带感觉已拉紧即可，然后逆时针旋转ZKnob约15格，扳动台边钮(Ball Lock Button)为Lock。

　　注意：

　　＊ Z knob 每格约15 microns。

　　＊ 逆时针方向旋转Zknob，会使放置芯片基座下降，其目的是为了作对准时，让芯片和光罩有些许的距离，使芯片与光罩不会直接摩擦。

　　＊ 若不须对准时，可以不使用逆时针方向旋转Z knob。

　　＊ 旋转Zknob时，不论顺时针或逆时针转动，当皮带打滑时，代表芯片基座已和光罩接触，此时不可逆时针旋转，而导致内部螺栓松脱。

　　＊ CHUNK ¨ Z ¨ ADJUST一般为15A~20 A之间，且电流越小皮带越松。

　　9 移动显微镜座，至光罩上方，作芯片与光罩的对准校正。如须调整芯片的位置，可使用芯片基座旁的微调杆，校正芯片座X、Y及θ。

　　10

　　100 SEC

　　1000 SEC

　　RESET

　　EXPOSE

　　SEC

　　曝光机面板左侧如下图：

　　注意：

　　＊曝光秒数有两种设定，一种为1000SEC，一种为100SEC。当按下1000SEC时，计数器最大可设999秒的曝光时间；按下100SEC时，计数器最大可设999秒的曝光时间。

　　＊ 再设定曝光秒数时要先测量汞灯的亮度，先按LAMP TEST再按住把手上的按钮移动基座至曝光机左端底，后然将OAI 306 UVPOWERMETER放置于CHUNK上即可，完毕后按RESET，而且可多测几个不同的位置，观看汞灯的亮度是否均匀，所测得的单位为mw/cm2，乘时间(SEC)即变可mJ的单位。

　　11 设定好曝光秒数后，即可进行曝光的程序。扳动CONTACT VAC至ON，N2 PURGE至ON，则芯片和光罩之间会产生些许的真空。

　　注意:

　　＊CONTACT VAC ADJUST的范围一般为红色-25kpa 左右。

　　12 按住把手上的按钮，此时基座才可移动，移至曝光机左端底，放开按钮，则曝光机会自动进行曝光的动作。

　　13 曝光完成后，即可将基座移回曝光机右端。扳动扳动N2 PURGE为OFF。再扳动CONTACTVAC至OFF，仪器会充氮气破光罩与芯片间的真空，方便使用者拿出芯片。

　　14 逆时针旋转Z knob，降下芯片基座至最低点。松开光罩固定的黑边铁框，拉起MASK VAC钮，即可破除MASKHolder的真空，光罩即可取出。

　　15 扳起MASK FRAME UP/DOWN为UP，使MASK Holder升起。扳动SUBVAC为OFF，使用芯片夹取出芯片，再扳MASK FRAME UP/DOWN为DOWN。

　　16 如须进行再一次的曝光，则可重复上述步骤。

　　17 完成所有的曝光程序后，先关掉显微镜光源产生器，再关掉汞灯电源供应器。〈关灯后一小时内不可再开启汞灯，已延长汞灯寿命〉

　　18 先关隧道式抽风马达电源，关掉曝光机的开关SYSTEMON/OFF为OFF，再关掉曝光机下方的延长线总开关。待曝光机冷却后，最后再关掉墙上氮气阀及空气阀。

　　热蒸镀机

　　使用操作方法

　　A开机步骤

　　1 开机器背面的总电源开关。

　　2 开冷却水，需先激活DI Water 系统。

　　3 开RP，热机2分钟。

　　4 开三向阀切至FV的位置，等2分钟。

　　5 开DP，热机30分钟(热机同时即可进行Sample 之清洗与装载，以节省时间)。

　　B装载

　　1 开Vent，进气之后立刻关闭。

　　2 开Chamber。

　　3 Loading Sample、Boat及金属。

　　4 以Shutter挡住Sample。

　　5 关Chamber，关门时务必注意门是否密合，因机器年久失修，通常须用手压紧门的右上角。

　　C抽真空

　　1 初抽

　　(1)三向阀切至RV位置(最好每隔几分钟就切换到FV一下，以免DP内的帮浦油气分子扩散进入chamber中)。

　　(2) 真空计VAP-5显示至5´10-2 torr时三向阀切至FV，等30秒。

　　2 细抽

　　(1) MV ON，记录时间。

　　(2) ION GAUGE ON，压下Fil 点燃灯丝(需要低于10-3 Torr以下才抽气完成)。

　　D蒸镀

　　1 压力约2´10-5 Torr时，开始加入液态氮。

　　2 压力低于2´10-6 Torr时，记录压力及抽气时间并关掉ION GAUGE。

　　3 Heater Power ON (确定Power调整钮归零)。

　　4 选择BOAT1 or BOAT2。

　　5 蒸镀开始，注意电流需慢慢增加。

　　注意:

　　＊ 镀金时，仪表上电流约100A，镀Al时电流可稍微小些，约70~80A。

　　＊ 当BOAT高热发出红光时，应立即关闭观景窗，以免金属附着在观景窗的玻璃上。

　　＊ 空镀几秒将待镀金属表面清干净后即可打开Shutter，开始蒸镀。

　　＊ 蒸镀完成后，立刻关闭HeaterPower，等10~15分钟让BOAT冷却及蒸镀后的金属冷却，避免立即和空气接触而氧化，才可vent破真空。

　　E破真空

　　1 Substrate Hold温度需要降至常温。

　　2 ION GAUGE POWEROFF。

　　3 MV OFF。

　　4 DP OFF 冷却30~60分钟。

　　5 开Vent(进气后立刻关闭)。

　　6 开Chamber，取出Sample及BOAT。

　　7 关Chamber，注意将门关紧。

　　F关机

　　1 关FV。

　　2 开RV，抽至001 Torr之后关闭。

　　3 开FV，30秒后三向阀切至关闭之位置。

　　4 RP OFF。

　　5 关总电源。

　　6 关冷却水。

　　7 关氮气。

　　注意：

　　＊ 蒸镀时，电流应缓慢增大，且不可太大，以免金属在瞬间大量气化，使厚度不易控制。

　　＊ 若接续他人使用，液态氮可少灌一点儿，约三分之一筒即可。

　　氧化炉管

　　使用操作方法

　　氧化炉管简介

　　本实验室所采用之氧化炉管为Lenton LTF1200水平管状式炉子，可放2英吋硅晶圆，加热区大于50cm，最高温度可达1200°C并可连续24hr，最大操作温度为1150°C，温控方式采用PID微电脑自动温度控制器。

　　目的

　　将硅芯片曝露在高温且含氧的环境中一段时间后，我们可以在硅芯片的表面生长一层与硅的附着性良好，且电性符合我们要求的绝缘体-SiO2。

　　注意:

　　＊在开启氧化炉之前，必须先确定HEATSwitch设定为O关闭的状态。Switch在有电源供应时l将会发光，而氧化炉也将开始加热。

　　＊如果过温保护装置是好的，请确定警报点的设定于目前的使用过程中为恰当地。如果过热保护装置是好的，蜂呜器会有声音，在过温控制操作中有警报一致的程序。

　　＊ 为了改善石英玻璃管或衬套热量的碰撞，其加热速率最大不能超过3°C per min。

　　＊ 为了减少热流失，必须确定正确的操作程序，适当的使用绝缘栓和放射遮蔽可以密封石英玻璃管。

　　＊ 在操作氧化炉时不要在最大温度下关闭氧化炉，以延长氧化炉的寿命。

　　操作步骤:

　　1 检查前一次操作是否有异常问题发生，并填写操作记录。

　　2 检查机台状态

　　(1) 控制面板状态：使用前先确定HEATSwitch设定为O关闭的状态。

　　(2) 加热控制器: Lenton LTF 1200温度>400°C，前后段炉温差£40°C。

　　(3) 气体控制:H2OFF，O2 OFF。

　　3 将芯片缓慢的推入炉管内。

　　4 打开墙上H2、O2之开关和机房的气瓶调压阀。

　　5 设定预设气体（H2 、O2）流量值及炉温。

　　6 按下HEATSwitch为l，此时炉温将从恒温(400°C)慢慢加热至标准制程温度1100°C，升温速率最大不能超过3°C per min。

　　7 待炉温降至恒温后将芯片取出。

　　8 关闭H2、O2 。

　　9 关闭炉管后端H2之开关及墙上之开关和机房的气瓶调压阀。

　　10 检查炉管是否完成关机动作。

　　11 填写操作记录之终了时间和异常保护及说明。

　　涂布机

　　使用操作方法

　　1 首先将PUMP的电源插头插入涂布机后面的电源插座。

　　2 将涂布机的插头插入110V的电源插座，然后按下POWER键。

　　3 设定旋转的转速及时间，本机型为二段式加速的Spin Coating，右边为第一段加速，左边为第二段加速。

　　4 依不同尺寸的基材，可更换不同的旋转转盘做涂布的动作。

　　5按下PUMP键，此时旋转转盘会吸住基材，然后将光阻依螺旋状从基材中心均匀且慢慢的往外涂开至适当的量，在做光阻涂开动作时可先用氮气将旋转转盘周围及基材吹干净。

　　6 盖上涂布机的保护盖，以防止光阻溅出涂布机外。

　　7 按下START键，涂布机便开始做涂布的动作。

　　8 涂布完毕后，打开保护盖，按下PUMP键旋转转盘会放开基材，便可以将基材取出。

　　热风循环烘箱

　　使用操作方法

　　1 本机使用电压110V/60HZ。

　　2 确认电压后，将电源线插入110V的插座。

　　3 打开POWER开关，此时温度表PV即显示箱内实际温度。

　　4 首先按SET键ÿ，SV会一直闪烁此时即可开始设定温度，而SV的字幕窗会呈现高亮度，在高亮度的位置可设定所需的温度，只要再按SET键ÿ高亮度会随之移动，在高亮度的地方即可设定温度。

　　5 按上移键▲表示温度往上递增，按下移键▼则温度往下递减。

　　6 当完成以上设定温度之后(SV仍闪烁不停)此时只要按一次ENT键SV即呈现刚才所设定的温度(PV显示实际温度)。

　　7 加热灯OUT显示灯亮时表示机器正在加热中，而到达设定点时OUT会一闪一烁(正常现象)。

　　8 AT灯亮时表示温度正自动演算中。

　　9 ALM-1红色灯亮时表示温度过热(温度会自动降温)。

　　10 ALM-2红色灯亮时表示温度过低(温度会自动加温)。

　　11 温度范围:40℃~210℃。

学习汽车美容需要学习的项目有：

1、汽车轮胎保养板块（轮胎扒胎、补胎、动平衡、轮毂清洗更换、轮毂改色喷膜）；

2、漆面护理模块（汽车精洗、抛光、打蜡、漆面划痕处理、封轴、大灯发黄翻新修复等）；

3、内饰美容装潢模块（车身贴花装饰、漆面改色贴膜、内外门拉手拆装、大包围、尾翼加装、底盘装甲、发动机护板加装、大灯改色、门碗犀牛皮，隔音工程等）；

4、汽车车身电器改装模块（倒车雷达改装、倒车影像加装、一体机改装、低音炮加装、喇叭升级、功放调音及线材的选用、门板拆装技巧、玻璃自动升 窗器加装等）；

5、内饰护理模块（真皮座椅包装、前后挡风玻璃镀膜、锔瓷、真皮镀膜护理、天使眼透镜改装镀晶、镀膜工艺等）；

6、车身装饰模块（车身贴花装饰、漆面改色贴膜、内外门拉手拆装、大包围、尾翼加装、底盘装甲、发动机护板加装、大灯改色、门碗犀牛皮，隔音工程等）。

翻新步骤如下：

1、旧地板翻新前应确保屋内的洁净，搬出屋内所有物品。

2、将地板原有表面打磨掉1-2毫米。

3、然后进行刮腻子、上色、上漆、上蜡抛光。我们要特别重视刷漆这一步骤，一般刷一遍底漆，两遍面漆，遇到地板表面存有瑕疵的情况需多刷几遍底漆。

就市面上的地板种类来说，强化木地板不能进行翻新，而多层实木地板的面层厚度不等，薄皮的厚度一般约在06—1毫米，像这样的表层厚度就不能进行翻新，而厚皮的则能够翻新。

中老年洗浴用品有哪些？人到老年，整个身体即使仍处于比较理想的状态，但是由于身体机能的老化，在行动上也会感到多有不便，这时候就需要一些辅助老人洗浴的物品了。且由于发质、皮肤方面的问题，也会导致老人们所用的洗发水、沐浴露与年轻人们用的有所不同，这主要是为了照顾老人皮肤。除了这些，还有些老人洗澡的注意事项也是我们需要知道的。

滋润沐浴露老年人由于体制特殊的原因，与年轻人所使用的沐浴露也有所不同，比如老年人身体调节能力较差，用薄荷沐浴露容易着凉；老年人皮肤较干燥、脆弱，不宜用清洁性较强的沐浴露。

选购要点：老年人适合使用温和或滋润性的沐浴露，可以有效养护逐渐老化的皮肤，切不可频繁使用碱性很强的肥皂或沐浴露，以免损伤皮肤。

舒肤佳沐浴露持久留香家庭装550ml2男女士沐浴乳￥7992个商家店宝洁自营旗舰店>>宝洁旗舰店>>￥799多芬Dove深层营润滋养沐浴乳/沐浴露1L￥4892个商家评论:320万+店联合利华自营旗舰店>>联合利华旗舰店>>￥999强生美肌恒日水嫩沐浴露女男士水蜜桃子沐浴乳￥1992个商家月销:3万+店强生中国旗舰店>>强生美肌自营旗舰店>>￥389>>防脱洗发水老年人随着年龄的增大，生理机能逐渐下降，经常会遇到头发变白、脱落的困扰，严重影响个人形象，平时最好使用有乌发、生发、防脱发功效的洗发水，以缓解白头、秃头现象。

选购要点：要根据自己的发质针对老人研制的乌发和防脱发洗发水，干性发质可以选择含有人参、何首乌的洗发水，生发乌发效果好；油性发质不妨选择皂角洗发水，既能去油也可止痒。

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选购要点：在挑选防滑垫的时候，要注意选择背面较为粗壮、坚韧较耐晒的产品，这样的防滑垫不仅很耐用使用寿命也长。而且背面带有的吸力可以让在滑溜溜的浴室更加安全。

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选购要点：老人洗澡椅在造型上应无尖角、有防撞设计；如果能自己洗，最好选有靠背的，长时间坐着也不容易累，而如果需要护理人员帮助洗，则最好选无靠背的，这样便于护理人员操作。

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选购要点：中老年人用的沐浴刷最好选择软毛的塑胶材质，以免用力过猛弄伤皮肤；另外手柄最好选择轻质的塑胶手柄，不要使用木质手柄的，避免不小心掉落砸伤自己。

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出国到陌生的环境里，有些人发生轻泻胀气的症状，一般称为水土不服，正确名称应为「旅行者腹泻」，原因是接触当地的环境微生物，与自己体内的正常细菌丛不相容，造成不适。这两者令人困扰的情形，有没有办法使用自然的饮食或保健食品来预防和治疗呢？

益生菌可保护人体肠道，抑制有害细菌滋生。

益生菌是最好的答案。早在一百年前，俄罗斯的诺贝尔生理及医学奖得主曼契尼可夫(Metchinikoff)就发现了这个秘密。当他调查保加利亚山村，经常食用发酵牛乳的村民比一般人长寿少生病，就发表乳酸菌能抑制肠道内有害细菌滋生的看法。1965年礼来(Lilly)等人正式提出益生菌(Probiotics)的名称，主要是跟抗生素(Anti-biotics)作对比，意思是这些好菌是来帮助保护身体，而非对抗的。

益生菌的保健角色越来越受到重视，联合国世界卫生组织将它定义为「适量的给予宿主，使其能产生健康效应的活菌」。饮食如果含有这类友善的细菌，也可以被称为Probiotics，市售的这类食品，以发酵乳最常见，包括优格、优酪乳、干酪、乳酪、发酵乳、乳酸菌饮料等。此外豆奶、糕饼、点心、糖果、奶粉，也有添加益生菌的制品，近年来健康食品蔚为风潮，做成胶囊，粉末状的产品也相当受欢迎。

人体肠道内有400种以上，总数约100兆的细菌，其中80%~85%是与我们和平共生的正常细菌丛，仅有15-20%是害菌。维持菌丛生态平衡是非常重要的，它们能帮助食物残渣分解消化，还能制造维生素B群和K，益菌产生乳酸和醋酸，保持肠道微酸性，使害菌无法生存。

当你明白大肠藉著微酸环境来阻碍病菌侵入的时候，是否也联想到女性 也如此？没错，其实两者都是有关的。在自然生产的过程中，婴儿从产道吞入母体 中的正常菌丛，正是日后肠道菌丛的原始族群。这样看来，不只母子连心，甚至母子连肠呢。

由于初生婴儿免疫系统不会排斥最初进入的抗原，所以这些菌丛得以安心的住下来，而且终其一生，相当稳定，但是婴儿期之后，很难永久改变肠道菌丛的结构，这就是为什么补充益生菌确实可以暂时改善，但一阵子不吃，益菌又消灭了。

常用的益生菌可分为乳酸杆菌(Lactobacillus 可产生大量乳酸)和双叉杆菌(Bifidobacterium，又称比菲德氏菌，可产生乳酸及醋酸)，这两群又分为数十种，每一种菌都有它的独特性和功效，所以不能一概而论。选购的时候不只要看数量，也要讲究品种。益菌的菌量以菌种形成单位（CFU）计算，每天食用十亿CFU以上才有保健的功效。一般优酪乳每杯150-200公克，约含一百至二千亿CFU。益菌补充品，每颗约含二至七千万CFU。

根据研究证明，益生菌可以应用在以下几种状况：

1治疗急性腹泻：益菌产生乳酸、醋酸，能赶走坏菌和病毒，修护肠黏膜。肠黏膜铺在肠道内层，就像一层地毯，可以吸收养份，也能阻隔病原和过敏原进入血液，腹泻时候损伤这层保护膜，益菌可以加速修补，缩短腹泻的时间。建议服用一至二周。

2预防旅行者腹泻：进入陌生的异地，饮水最好使用罐装水，出发前开始服益菌，好菌长在，坏菌找不到落脚的地方，只好走了。

3服用抗生素相关的腹泻：长期使用抗生素，好菌和坏菌都受压制，往往让霉菌或平时没机会作怪的害菌活跃起来，在孩童说来，中耳炎、鼻窦炎和肺炎使用抗生素的时间较久，可以在治疗期间使用益生菌预防，请注意服用时间必须与抗生素错开一小时以上，以免益生菌也被抗生素杀掉，并且持续服用到抗生素结束后一周。

4肠胃消化不良症：益生菌可以产生有机酸和短链脂肪酸，维护肠道正常的表皮功能，并且促进蠕动，对于便秘，大肠急躁症和食欲不佳都能改善。

5减低食物过敏：孩子对牛奶或食物过敏引起的湿疹，服用益菌，特别有效。益菌能调节免疫反应，使它不去对抗过敏原，而去抵抗感染。

我们都希望使用自然的方式，改善环境让它无毒无污染。自然生态多元，才能相生相克达到最佳平衡。因此环保是生态永续生存必要的措施，不只体外要环保，我们的体内也要环保，善用益生菌作我们的环保小兵，与我们和平相处，互利共生，实在是保健养生的聪明妙方。

窗户贴膜的优缺点

窗户贴膜的优点：

1、增加私密性

在给窗户贴上一层膜之后，窗户会变得焕然一新，给我们全新的视觉感受，窗户贴膜与二次翻新相比较，它的费用会更少很多。现在许多人选择的窗户膜都是磨砂或者有图案花色的，这样在一定程度上能作为居室的遮挡，也可以保护我们居室生活的隐私性。

2、阻挡紫外线

室外的光线较强，太阳光的照射比较强烈，若是将家具长期摆放在窗边的，阳光长时间的照射在地毯、窗帘、挂画还有家具等就容易出现褪色等现象。而在窗户上贴膜，那既可以允许可见光射入，同时还能有效阻止有害紫外线进入室内，减少太阳可见光造成的褪色。

3、隔热节能

窗户贴膜安装起来较为简便，只要掌握一定的技巧，自己在家也是可以铺贴。且窗户贴膜的价格较实惠，使用的较为广泛。窗户贴膜还有一个作用，就是可以阻隔热量，将它贴在窗户表面，膜可以反射和吸收许多太阳中的红外线热能，从而降低玻璃的传热系数，从而降低室内的制冷成本。

窗户贴膜的缺点：

1、使用时间有限

窗户贴膜在经过长时间的使用以后了，可能会出现气泡或者是卷边等现象，另外，二次修护也有难度，因此，二次装修的话只能重新进行铺贴。

2、不能隐私

虽然窗户贴膜能在一定程度生阻挡外界的视线，可是，如果你选择的窗户贴膜质量不是很好的话，在晚上开灯的情况下，从外面看还是可以看得到人影。

3、隐私通风不兼顾

窗户贴膜不能同时保持隐私和通风，因为，如果你既想开窗通风又要保证私密性，那么就有一定的难度了，如果说，你对这方面没有太高的要求，使用窗户贴膜还是很不错的。

荨麻疹分为很多类型，不管什么类型只要发作，患者都奇痒难忍，有的患者得荨麻疹几年甚至十几年都治疗不好，这个病是比较难治疗的，现在说说有效的止痒方法。也是我试过较有效的方法，当然根治是不可能的。至少使用了之后不会发作。现在分享给大家。

工具/原料

韭菜，洗米水

方法/步骤

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这个方法我是在一个治疗止痒的偏方看过的，没想到用在荨麻疹上也有效果，而且比我使用过很多药物效果都好！且不担心有什么药物副作用，材料简单易找，一点都不麻烦。



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韭菜洗净放在洗米水里泡约两个小时，然后放锅里里煮开待温，晚上洗澡后，用来洗遍全身，这样你可以睡一个舒服的觉，不会发作的。当然白天如果勤快也可以用。



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同时发作的时候，也可以拿洗米水煮过的韭菜水来擦擦，一会就可以止痒。

注意事项

荨麻疹患者要注意饮食，最好不要要吃禁食的东西以免发作