浸泡硅料表面酸残留如何清洗

浸泡硅料表面酸残留如何清洗,第1张

你说的硅片清洗和硅料清洗不一样,硅料清洗使用氢氟酸洗去硅料上的氧化层。而硅片清洗又被称为制绒,是通过化学品腐蚀硅片表面,使其受光面积增大,反射率降低的一种技术。硅料清洗只会用氢氟酸,而硅料清洗还会用到硝酸的。

硅片清洗剂广泛应用于光伏,电子等行业硅片清洗;由于硅片在运输过程中会有所污染,表面洁净度不是很高,对即将进行的腐蚀与刻蚀产生很大的影响,所以首先要对硅片表面进行一系列的清洗操作。清洗的一般思路首先是去除表面的有机沾污,然后溶解氧化膜,因为氧化层是“沾污陷进”,会引起外延缺陷;再去除颗粒、金属等,同时使硅片的表面钝化。 多采用传统的RCA清洗方法,不仅可以去除硅片表面的金属、有机物等,还可以去除小颗粒等污染物。

硅片清洗剂具有以下优点:

清洗彻底,并且清洗后不会在硅片表面留下残留

清洗后不会对硅片材质产生损伤

硅片清洗剂本身化学性质稳定,安全环保

这种清洗剂调配的槽液易维护,并且易漂洗

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