真空镀膜介绍一种产生薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术用于生产激光唱片(光盘)上的铝镀膜和由掩膜在印刷电路板上镀金属膜。在真空中制备膜层,包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段,但一般真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空镀膜有三种形式,即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。镀膜材料 (纯度:999%-999999%)高纯氧化物 一氧化硅、SiO,二氧化铪、HfO,二硼化铪,氯氧化铪,二氧化锆、ZrO2,二氧化钛、TiO2,一氧化钛、TiO,二氧化硅、SiO2,三氧化二钛、Ti2O3,五氧化三钛、Ti3O5,五氧化二钽、Ta2O5,五氧化二铌、Nb2O5,三氧化二铝、Al2O3,三氧化二钪、Sc2O3,三氧化二铟、In2O3,二钛酸镨、Pr(TiO3)2,二氧化铈、CeO2,氧化镁、MgO,三氧化钨、WO3,氧化钐、Sm2O3,氧化钕、Nd2O3,氧化铋、Bi2O3,氧化镨、Pr6O11,氧化锑、Sb2O3,氧化钒、V2O5,氧化镍、NiO,氧化锌、ZnO,氧化铁、Fe2O3,氧化铬、Cr2O3,氧化铜、CuO等。高纯氟化物 氟化镁、MgF2,氟化镱、YbF3,氟化钇、LaF3,氟化镝、DyF3,氟化钕、NdF3,氟化铒、ErF3,氟化钾、KF,氟化锶、SrF3,氟化钐、SmF3,氟化钠、NaF,氟化钡、BaF2,氟化铈、CeF3,氟化铅等。高纯金属类 高纯铝,高纯铝丝,高纯铝粒,高纯铝片,高纯铝柱,高纯铜,高纯铜丝,高纯铜片,高纯铜粒,高纯铬,高纯铬粒,高纯铬粉,高纯铬块,铬条,高纯钴,高纯钴粒,高纯金,高纯金丝,高纯金片,高纯金粒,高纯银,高纯银丝,高纯银粒,高纯银片,高纯铂,高纯铂丝,高纯铪,高纯铪粉,高纯铪丝,高纯铪粒,高纯钨,高纯钨粒,高纯钼,高纯钼粒,高纯钼片,高纯硅,高纯单晶硅,高纯多晶硅,高纯锗,高纯锗粒,高纯锰,高纯锰粒,高纯钴,高纯钴粒,高纯铌,高纯锡,高纯锡粒,高纯锡丝,高纯钨,高纯钨粒,高纯锌,高纯锌粒,高纯钒,高纯钒粒,高纯铁,高纯铁粒,高纯铁粉,高纯钛,高纯钛片,高纯钛粒,海面钛,高纯锆,高纯锆丝,海绵锆,碘化锆,高纯锆粒,高纯锆块,高纯碲,高纯碲粒,高纯锗,高纯镍,高纯镍丝,高纯镍片,高纯镍柱,高纯钽,高纯钽片,高纯钽丝,高纯钽粒,高纯镍铬丝,高纯镍铬粒,高纯镧,高纯镨,高纯钆,高纯铈,高纯铽,高纯钬,高纯钇,高纯镱,高纯铥,高纯铼,高纯铑,高纯钯,高纯铱等混合料 氧化锆氧化钛混合料,氧化锆氧化钽混合料,氧化钛氧化钽混合料,氧化锆氧化钇混合料,氧化钛氧化铌混合料,氧化锆氧化铝混合料,氧化镁氧化铝混合料,氧化铟氧化锡混合料,氧化锡氧化铟混合料,氟化铈氟化钙混合料等混合料其他化合物 钛酸钡,BaTiO3,钛酸镨,PrTiO3,钛酸锶,SrTiO3,钛酸镧,LaTiO3,硫化锌,ZnS,冰晶石,Na3AlF6,硒化锌,ZnSe,硫化镉,硫化钼,硫化铜,二硅化钼。辅料 钼片,钼舟、钽片、钨片、钨舟、钨绞丝。主要属于五金行业!五金行业包含了铟丝,锡丝等,同时还有金属材料电镀等等技术,都是属于五金的范畴。
一光学镀膜材料(纯度:999%-999999%) 1 高纯氧化物: 一氧化硅、SiO,二氧化铪、HfO2,二硼化铪,氯氧化铪,二氧化锆、ZrO2,二氧化钛、TiO2,一氧化钛、TiO,二氧化硅、SiO2,三氧化二钛、Ti2O3,五氧化三钛、Ti3O5,五氧化二钽、Ta2O5,五氧化二铌、Nb2O5,三氧化二铝、Al2O3,三氧化二钪、Sc2O3,三氧化二铟、In2O3,二钛酸镨、Pr(TiO3)2,二氧化铈、CeO2,氧化镁、MgO,三氧化钨、WO3,氧化钐、Sm2O3,氧化钕、Nd2O3,氧化铋、Bi2O3,氧化镨、Pr6O11,氧化锑、Sb2O3,氧化钒、V2O5,氧化镍、NiO,氧化锌、ZnO,氧化铁、Fe2O3,氧化铬、Cr2O3,氧化铜、CuO等。 2 高纯氟化物: 氟化镁、MgF2,氟化镱、YbF3,氟化钇、LaF3,氟化镝、DyF3,氟化钕、NdF3,氟化铒、ErF3,氟化钾、KF,氟化锶、SrF3,氟化钐、SmF3,氟化钠、NaF,氟化钡、BaF2,氟化铈、CeF3,氟化铅等。 4 混合料: 氧化锆氧化钛混合料,氧化锆氧化钽混合料,氧化钛氧化钽混合料,氧化锆氧化钇混合料,氧化钛氧化铌混合料,氧化锆氧化铝混合料,氧化镁氧化铝混合料,氧化铟氧化锡混合料,氧化锡氧化铟混合料,氟化铈氟化钙混合料等混合料 3 高纯金属类: 高纯铝,高纯铝丝,高纯铝粒,高纯铝片,高纯铝柱,高纯铬粒,高纯铬粉,铬条,高纯金丝,高纯金片,高纯金,高纯金粒,高纯银丝,高纯银粒,高纯银,高纯银片,高纯铂丝,高纯铪粉,高纯铪丝,高纯铪粒,高纯钨粒,高纯钼粒,高纯单晶硅,高纯多晶硅,高纯锗粒,,高纯锰粒,高纯钴,高纯钴粒,高纯钼,高纯钼片,高纯铌,高纯锡粒,高纯锡丝,高纯钨粒,高纯锌粒,高纯钒粒,高纯铁粒,高纯铁粉,海面钛,高纯锆丝,高纯锆,海绵锆,碘化锆,高纯锆粒,高纯锆块,高纯碲粒,高纯锗粒, 高纯钛片,高纯钛粒,高纯镍,高纯镍丝,高纯镍片,高纯镍柱,高纯钽片,高纯钽,高纯钽丝,高纯钽粒,高纯镍铬丝,高纯镍铬粒,高纯镧,高纯镨,高纯钆,高纯铈,高纯铽,高纯钬,高纯钇,高纯镱,高纯铥,高纯铼,高纯铑,高纯钯,高纯铱等 5 其他化合物: 钛酸钡,BaTiO3,钛酸镨,PrTiO3,钛酸锶,SrTiO3,钛酸镧,LaTiO3,硫化锌,ZnS,冰晶石,Na3AlF6,硒化锌,ZnSe,硫化镉。 6 辅料: 钼片,钼舟、钽片、钨片、钨舟、钨绞丝。
一光学镀膜材料(纯度:999%-999999%)
1 高纯氧化物:
一氧化硅、SiO,二氧化铪、HfO2,二硼化铪,氯氧化铪,二氧化锆、ZrO2,二氧化钛、TiO2,一氧化钛、TiO,二氧化硅、SiO2,三氧化二钛、Ti2O3,五氧化三钛、Ti3O5,五氧化二钽、Ta2O5,五氧化二铌、Nb2O5,三氧化二铝、Al2O3,三氧化二钪、Sc2O3,三氧化二铟、In2O3,二钛酸镨、Pr(TiO3)2,二氧化铈、CeO2,氧化镁、MgO,三氧化钨、WO3,氧化钐、Sm2O3,氧化钕、Nd2O3,氧化铋、Bi2O3,氧化镨、Pr6O11,氧化锑、Sb2O3,氧化钒、V2O5,氧化镍、NiO,氧化锌、ZnO,氧化铁、Fe2O3,氧化铬、Cr2O3,氧化铜、CuO等。
2 高纯氟化物:
氟化镁、MgF2,氟化镱、YbF3,氟化钇、LaF3,氟化镝、DyF3,氟化钕、NdF3,氟化铒、ErF3,氟化钾、KF,氟化锶、SrF3,氟化钐、SmF3,氟化钠、NaF,氟化钡、BaF2,氟化铈、CeF3,氟化铅等。
4 混合料:
氧化锆氧化钛混合料,氧化锆氧化钽混合料,氧化钛氧化钽混合料,氧化锆氧化钇混合料,氧化钛氧化铌混合料,氧化锆氧化铝混合料,氧化镁氧化铝混合料,氧化铟氧化锡混合料,氧化锡氧化铟混合料,氟化铈氟化钙混合料等混合料
3 高纯金属类:
高纯铝,高纯铝丝,高纯铝粒,高纯铝片,高纯铝柱,高纯铬粒,高纯铬粉,铬条,高纯金丝,高纯金片,高纯金,高纯金粒,高纯银丝,高纯银粒,高纯银,高纯银片,高纯铂丝,高纯铪粉,高纯铪丝,高纯铪粒,高纯钨粒,高纯钼粒,高纯单晶硅,高纯多晶硅,高纯锗粒,,高纯锰粒,高纯钴,高纯钴粒,高纯钼,高纯钼片,高纯铌,高纯锡粒,高纯锡丝,高纯钨粒,高纯锌粒,高纯钒粒,高纯铁粒,高纯铁粉,海面钛,高纯锆丝,高纯锆,海绵锆,碘化锆,高纯锆粒,高纯锆块,高纯碲粒,高纯锗粒, 高纯钛片,高纯钛粒,高纯镍,高纯镍丝,高纯镍片,高纯镍柱,高纯钽片,高纯钽,高纯钽丝,高纯钽粒,高纯镍铬丝,高纯镍铬粒,高纯镧,高纯镨,高纯钆,高纯铈,高纯铽,高纯钬,高纯钇,高纯镱,高纯铥,高纯铼,高纯铑,高纯钯,高纯铱等
5 其他化合物:
钛酸钡,BaTiO3,钛酸镨,PrTiO3,钛酸锶,SrTiO3,钛酸镧,LaTiO3,硫化锌,ZnS,冰晶石,Na3AlF6,硒化锌,ZnSe,硫化镉。
6 辅料:
钼片,钼舟、钽片、钨片、钨舟、钨绞丝。
目前,我国开发研制的气体保 护钎焊炉,大都仿制进口产品。其中用于铝制散热器等其它铝制品的钎焊炉和进口产品几无二致,这是受Noclock工艺制约的结果,只不过有的使用厂家为减少投资要求开发单位简化。如湖北某厂家要求将钎剂喷淋、空气吹落、工件干燥置于炉外处理。处理好后直接进钎焊炉焊接。即使这样,我国大多数用户对该设备的投资也很难承受。如此一来,我国东北某公司为适应这种要求,开发出了单室不连续钎焊炉,其投资大大降低。但相应降低的还有效率和质量的稳定性,可以说,这也是没有办法的办法。钎焊铝制品对控温精度及加热区的均匀性要求很高。开发这种钎焊炉对国内的研究单位来讲,难度还是很大的。为此,国内东北某研究单位采用了和日本某公司合作的方式,但由于其技术和关键器件均来自于日本,所以成本下降不多,价格上的优势不大。开发出性能满足焊接要求,同时价格上也能为用户接受的气体保护钎焊炉,只有在吸收国外先进技术的基础上,走国产化这条路。目前天津某研究所就是采取了这种方式。钢制零件的硬钎焊炉和进口产品相比,有如下不同:
(1)进口钎焊炉的保护气氛大多为石油液化气。而我国现大部分还采用氨分解气。实际上在西方发达国家,保护气氛基本上采用两种:a石油液化气;b氮基气氛。其中氮基气氛最有发展前途。现在能源危机不仅威胁着我国,也威胁着整个世界。我们知道,空气中含有78%的氮气,是取之不尽用之不竭的。现在我国大多数还采用氨分解气,主要原因有两个:一是氨分解气制备简单;二是国内对氮基气氛的宣传不够,广大用户对此不太了解,影响了推广。
(2)国内的保护气氛发生装置大多置于炉外。在炉外产生保护气通往炉内起保护作用。而我国引进的钎焊炉其保护气氛发生装置大多置于炉内,其优点很多,如节省面积,节省能耗,简化操作,从而节省投资等等,这种方式应大力推广。
(3)加热元件:在参观和解剖国外进口硬钎焊炉时发现,其加热元件大多采用两种,一是电阻丝,二是管状加热器。我国则大多数采用SiC棒。本文作者多年从事钎焊炉的研究开发工作,目前正尝试对加热元件方式进行大胆改进,以比较其优缺点。
(4)炉膛构造:国外进口成本硬钎焊炉,采用油耐热及保温材料砌筑而成的炉膛为多,属马费结构。而我国这类炉几乎无一例采用了耐热钢制成的马费结构。另外在传送结构上,我国的研究单位应下大功夫。目前无论网带传送还是舟板传送,均有明显的缺点。据资料介绍,国外研究出了一种陶瓷网带,它没有改变传送方式,仍然方便工人操作;同时又没有金属网带的热蠕变及晶体长大的忧虑。这种网带如研制成功,将会大大降低钎焊炉的运行成本。
总之,我国在气体保护连续铝钎焊炉方面和国外尚有一定差距,而在用于钢、不锈钢、铜等材料的硬钎焊炉方面和国外差距不大,研究力度也在不断加大。20世纪80年代末以前,全国只有一家研究开发钎焊炉,而到目前为止,据笔者所掌握的情况,全国已有11家。这对我国汽车零部件制造业来讲,是一个福音。
3、 连续式气体保护钎焊简介
3.1保护气氛目前在汽车行业应用的钎焊炉,其保护气氛有四种,即氮分解气氛、石油液化气燃烧气氛,高纯氮气及氮基可控气氛。<
3.1.1 氨分解气氛;
氨分解气氛的制备是以液氨为原料,经裂解炉在催化剂的作用下,发生如下反应:; 2NH3氧化剂—→3H2↑+N2↑; 裂解后产生的的气氛中含有75%的氢气和25%的氮气。该气氛由于含有75%的氮气,其还原性较强,可广泛用于钢制零件的铜钎焊、银钎焊及镍基钎料的钎焊,如汽车三滤件即空气滤清器、汽油滤清器、机油滤清器的焊接,汽车化油器、分电器及真空助力器的焊接均采用该保护气氛。该气氛有两大缺点:
(1) 由于含氢量较高,危险性大;
(2) 能耗大。 液氨裂解成保护气氛,必须在裂解炉内加热至高温900℃以上,电耗相当大,而且液氨原料耗量也很大。
312石油液化气燃烧气氛; 该气氛的制备原理如下:
第一步C3H8+5O22+19N2→3CO2+4H2O+19N2+Q1;
第二步C3H8+3CO2+ →6CO+4H-Q22; C3H8+3HO2+ →3CO+7H-Q2;
两步反应合并为
2 C3H8+3CO2+114 N2→6CO+8H2+114 N2+Q;
可以看出,式右边除N2为中性气体外,其余的CO和H2均为还原气体,因而丙烷燃烧后的气体具有保护钎焊作用。该保护气氛用于钢制零件的铜钎焊和银钎焊。如汽车三滤件、化油器及真空助力器的焊接,可采用该气氛。大部分钎焊炉是在炉外燃烧产生上述保护气氛通入炉内,起保护钎焊作用。但我国引进的一些钎焊炉也采用气体燃烧发生器置于炉内,当炉温升至约750℃时,产生上述反应。该方法的特点是节能,不使用单独的加热电源,而且节省占地面积。这种类型的钎焊炉,以引进为多,国内开发研制的很少。
3.1.3 氮基可控气氛; 所谓氮基可控气氛是指气氛中90%以上为氮气,10%以下为活性气体,而且两气体的比例可调,其中进入炉膛的氮气纯度要达5个9以上。瓶装氮气或小型的制氮机的氮气纯度一般为99.5%,要使其纯度达到99.9995%,必须对其加以纯化处理,纯化原理如下:
CH3OH→CO+2H2↑
2CO+O2→2CO2↑
2H2+O2→2H2O
采用甲醇裂解产生的CO、H2和氮气中的氧反应,除掉氮气中的氧,从而使氮气纯度达999995%,而多余的CO和H2(1%~10%可调)作为活性气氛进入炉内起到保护钎焊的作用。汽车零部件中的钢制零件均可采用上述保护气氛。该气氛的特点:
(1) 安全。气氛中含有90%以上氮气,还原性气体仅占10%,其安全性显而易见。
(2) 节能,方便。一般大型工厂有氮气管道,只要将氮气接到钎焊炉上的氮气净化装置即可使用。无氮气管道的,困采用小型制氮机。空气经气体压缩后进入分子筛,经分子筛吸附即可得到氮气。这种制氮法即PSA法,设备简单,成本低,推广前景很好。
3.1.4 高纯氮气; 瓶装氮气或制氧机产生氮气,如上所述一般纯度达995%,但在汽车铝制散热器、汽车空调蒸发器、冷凝器、水箱等铝制产品必须在999995%氮气纯度下才可满足焊接要求,所以也必须对氮气进行纯化处理。它的处理方法和氮基可控气氛的处理不同,它采用无氢纯化处理方法。详细情况,这里不做叙述。这种气氛仅用于汽车铝制品的焊接。
3.2 加热元件的种类;
3.2.1 SiC棒; 在钢制零件焊接所使用的钎焊炉,大都采用SiC棒,因这类零件焊接大都采用无氧铜钎焊,钎焊温度较高,一般 在1120~1130℃左右,而SiC棒最高使用温度可达1200℃。采用SiC棒加热元件保护气氛,如采用氮气,炉膛最好采用马弗套,避免气体和SiC接触,因氮气和SiC在高温下产生反应,降低其使用寿命。
3.2.2 Ni—Cr丝; 在国外进口的钎焊炉中,广泛使用Ni—Cr丝,但保护气氛一般采用丙烷燃烧气氛且保护气氛发生装置大都为内置式,因燃烧反应是放热反应,即可节省能量又可减少Ni—Cr丝的负担,也可以用于钢制零件的铜钎焊。
3.2.3 Fe—Cr—AL丝; 这种加热元件是我国近年来研制成功的,它的使用温度高且成本低,应用前景很好,但同SiC棒一样,在炉膛设计时,如采用的气氛为氮气,炉膛应为马弗结构,以避免炉丝和氮气接触,降低其使用寿命。
33 炉加热区结构; 炉加热区结构有两种:
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