油扩散泵的主要问题

油扩散泵真空系统的污染物来源

(1)扩散泵油蒸汽的返流。这是最重大的污染源。

(2)系统中的零部件，在装配时用有油的手拿。用有油污的手套拿，这样粘染的有机分子可以造成系统内的污染。

(3)前级油封机械泵油的返流。这个问题也很严重，当入口压力较高时，在达到过渡区(1～10-1Pa)压力时，机械泵的油蒸汽即可直接进入扩散泵内，对系统直接进行污染。很多真空工艺过程的污染来自机械泵返油。当停机械泵时如不及时向泵内放大气，机械泵油可直接返到扩散泵油锅内。当扩散泵起动时对系统的污染更为严重。

(4)抽气系统中密封材料的放气造成的污染。特别是人造橡胶密封圈，密封油脂，润滑油等，也同样造成严重的污染。

(5)当停泵后放大气时，使真空零部件在空气中粘污上水蒸汽，油烟等，造成对真空系统的污染。

通常扩散泵的性能是以极限真空、最大反压强、抽气速率以及设置冷阱或低温挡板而定。

1极限真空

如果对一般油扩散泵的结构进行改进，如减少油蒸气的返流，加分镏装置，合理分配加热功率，改进喷嘴角度设计，加以挡油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使扩散泵性能大大改善，极限真空可达到更低的压强。

2最大反压强

最大反压强是指扩散泵所允许的前置压强最大值。如果前级泵所产生的压强高于最大反压强，则扩散泵就不能正常工作。

3抽气速率

扩散泵的抽速可根据气体分子运动理论来推算出来。

4设置冷阱及低温挡板的原因

由于扩散泵喷嘴喷出来的油蒸气分子，大部分由泵壁冷凝，这是因为泵壁外设置冷却水套或冷却管道的缘故。但是有少部分蒸气分子被泵壁反射，散射会返回被抽空间，这种现象在低温实验室中要特别注意。如在扩散泵和被抽容器之前加上冷阱或低温挡板，这样就能使返加的蒸气被冷凝下来，截止了油蒸气的返流。

影响油扩散泵性能的因素如下。

1、油扩散泵的返流。

2、气体分子的反扩散。

3、扩散泵油的裂化分解，一般扩散泵对其工作油的要求是饱和蒸气压以内（室温下000000001Pa左右），受热稳定性好，不易被氧化，分子量大的高沸点的液体，如硅油是扩散泵中比较理想的工作油。

4、泵清洗不干净，污染物质留在泵内并重复循环，影响其真空度。

油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒（1升=10-3米3）。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。

影响设备的性能或生产能力。

扩散油加多了，会让扩散真空系统发生故障，从而影响设备的性能或生产能力，并且会有很多的沉淀物。

如果发现扩散泵油加多了，可以用酒精慢慢的擦拭掉扩散油，否则的话，做出来的产品会达不到想要的效果。

600的扩散泵需要加多少油是取决于其具体型号和使用情况的。通常来说，扩散泵加油的方法是先将全部的空气抽净，然后在上面的油杯中注入液体真空泵油，油面最好不要超过油杯的二分之一，否则会影响泵的正常工作时间和寿命。不过，在选择具体的泵油量时，最好查看相应的用户手册或咨询专业技术人员，以免不同型号或品牌的扩散泵差异较大，加油量过多或过少均会影响其使用效果。建议根据具体的情况定期检查扩散泵油的状态，及时添加或更换泵油，并采取其他保养和维护措施，以延长扩散泵的寿命和稳定性。